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KLA 探針式臺階儀工作原理
2025-10-22
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KLA探針式臺階儀基于"探針接觸掃描+傳感器反饋"技術(shù),通過探針與樣品表面接觸并掃描,結(jié)合高精度傳感器實時反饋位移變化,實現(xiàn)納米級至微米級臺階高度、表面形貌及應(yīng)力的二維/三維測量。以下是其工作原理的詳細解析:核心工作原理:探針接觸與掃描探針設(shè)計:采用金剛石材質(zhì)探針,針尖半徑可細至0.7μm或更小,確保高橫向分辨率。探針以極輕的力(0.03~50mg)接觸樣品表面,避免損傷軟質(zhì)或脆性材料(如光刻膠、硅晶圓)。掃描方式:通過樣品臺或探針在X-Y平面勻速移動,探針沿表面劃過時,因表...
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自動測量光學(xué)膜厚儀的主要特點有以下九個
2025-10-20
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自動測量光學(xué)膜厚儀的薄膜光譜反射系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得薄膜的厚度及n&k,采用r-θ極坐標(biāo)移動平臺,可以在幾秒鐘的時間內(nèi)快速的定位所需測試的點并測試厚度,可隨意選擇一種或極坐標(biāo)形、或方形、或線性的圖形模式,也可以編輯自己需要的測試點。針對不同的晶圓尺寸,盒對盒系統(tǒng)可以很容易的自動轉(zhuǎn)換,匹配當(dāng)前盒子的尺寸。49點的分布圖測量只需耗時約45秒。自動測量光學(xué)膜厚儀的主要特點:1、基片折射率和消光系數(shù)測量;2、薄膜厚度測量,平均值和標(biāo)準(zhǔn)偏差分析;3、薄膜折射率和消光系數(shù)測量;4、...
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四探針電阻率測量儀測量方法和注意事項
2025-10-17
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四探針電阻率測量儀是一種用于測量材料表面電阻的儀器,在電子制造行業(yè),特別是在PCB板、纖維布、皮革、塑料等材料的表面電阻測試中,它被廣泛使用。下面我們來了解一下四探針電阻率測量儀的使用方法。首先,我們需要準(zhǔn)備一臺四探針電阻率測量儀。然后,確定要測試的材料的表面。確保材料表面干凈,無灰塵、油脂或其他污染物。接下來,將材料放在測試儀的測試平臺上。確保材料與測試平臺之間沒有空氣間隙,以保證測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。然后,根據(jù)測試要求,選擇相應(yīng)的測試方法和測試參數(shù)。對于常見的測試方法,有四線...
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選購主動式減震系統(tǒng)的幾個注意事項
2025-10-14
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實驗室的工作追求的是性,可是環(huán)境振動源的影響很容易成為一個問題,一些實驗可能由于輕微振動的影響而無法獲得的實驗數(shù)據(jù)。主動式減震系統(tǒng)就是為了解決這一問題產(chǎn)生的,它采用主動或被動的隔振措施隔離振動,提供水平、穩(wěn)定的臺面。實驗或測量不受振動因素。為了達到理想的效果,減震平臺必須滿足幾個條件。首先,它必須有一個剛性臺面,能夠穩(wěn)定地固定實驗儀器。其次,它沒有固有共振,而且能夠有效地抑制由實驗中電機或移動部分產(chǎn)生的任何振動,并能夠隔離環(huán)境振動對實驗裝置的影響。下面我們來說說選購主動式減震...
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KLA光學(xué)輪廓儀在超薄膜厚度測量中的關(guān)鍵應(yīng)用
2025-9-19
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KLA光學(xué)輪廓儀在鈣鈦礦電池到半導(dǎo)體制造的超薄膜厚度測量中,憑借其高精度、非接觸式測量和多功能性,成為關(guān)鍵工具,具體應(yīng)用如下:一、鈣鈦礦太陽能電池中的超薄膜厚度測量TCO層測量:重要性:TCO層是鈣鈦礦太陽能電池的重要組成部分,必須在導(dǎo)電性能良好的情況下具有很高的透光率、低電阻和高熱穩(wěn)定性。測量實例:使用KLA光學(xué)輪廓儀,可以精確測量玻璃上IZO薄膜的厚度,如6.8nm和37.1nm的樣品。ETL層測量:重要性:ETL層在鈣鈦礦太陽能電池中具有收集電子、傳輸電子并阻隔空穴以降...
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光學(xué)表面輪廓儀是一種用于測量和繪制物體輪廓的裝置
2025-9-15
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光學(xué)表面輪廓儀通常由一個激光測距儀和一個移動平臺組成。激光測距儀通過發(fā)射激光束并接收返回的激光信號,可以精確地測量物體的距離。移動平臺則用于控制激光測距儀在水平和垂直方向上的移動,從而實現(xiàn)對物體輪廓的全面掃描。在測量過程中,光學(xué)表面輪廓儀會將物體的輪廓點云數(shù)據(jù)采集下來,并通過特定的算法進行處理和分析。這些算法可以將點云數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為三維模型,并進一步提取出物體的尺寸、曲率、角度等信息。利用這些數(shù)據(jù),工程師和設(shè)計師可以更好地了解物體的結(jié)構(gòu)和形狀,從而進行下一步的設(shè)計和制造工作。光學(xué)...