Filmetrics F20 單點(diǎn)便攜式膜厚測量儀

您是想要知道薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)，還是想要知道材料的反射率和透過率，F(xiàn)20都能滿足您的需要。僅需花費(fèi)幾分鐘完成安裝，通過USB連接電腦，設(shè)備就可以在數(shù)秒內(nèi)得到測量結(jié)果?；谀衬K化設(shè)計(jì)的特點(diǎn)，F(xiàn)20適用于各種應(yīng)用。

相關(guān)應(yīng)用：光刻膠、工藝薄膜、介電材料、硬涂層、Parylene、抗反射層、醫(yī)療設(shè)備、OLED、玻璃厚度、ITO與其他TCO。

Filmetrics F40 薄膜測量儀

結(jié)合顯微鏡的膜厚測量系統(tǒng)，Filmetrics的特殊膜厚測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過分析待測膜層的上下界面間反射光譜，幾秒鐘內(nèi)就可得到測量結(jié)果。

相關(guān)應(yīng)用：光刻膠、半導(dǎo)體制造、聚合物/聚對二甲苯、生物醫(yī)學(xué)元件、MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、盒厚、氧化物/氮化物、硅或其他半導(dǎo)體膜層、生物膜/氣泡墻厚度、植入藥物凃?qū)印?/span>硅膜、氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡、聚酰亞胺、ITO導(dǎo)電透明膜。

Filmetrics F50 自動(dòng)Mapping膜厚測量儀

自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，依靠F50特殊的光譜測量系統(tǒng)，可以非常簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ 極坐標(biāo)移動(dòng)平臺，可以非常快速地定位所需測試的點(diǎn)并且實(shí)時(shí)獲得測試厚度，大約每秒能測試兩點(diǎn)。F50系統(tǒng)配置高精度長壽命的移動(dòng)平臺，力求實(shí)現(xiàn)上百萬次的測量。

相關(guān)應(yīng)用：半導(dǎo)體制造 LCD液晶顯示器、光刻膠、聚酰亞胺、氧化物/氮化物/SOI、ITO透明導(dǎo)電膜、晶圓背面研磨、光學(xué)鍍層 MEMS微機(jī)電系統(tǒng)、硬涂層、光刻膠、抗反射層、硅系膜層。

KLA Zeta-20 白光共聚焦輪廓儀

多功能光學(xué)測試模組，Zeta-20提供多種光學(xué)測試技術(shù)滿足用戶各種領(lǐng)域測試需求。基于ZDot技術(shù)，Zeta-20可以對近乎所有材料和結(jié)構(gòu)進(jìn)行成像分析，從超光滑到高粗糙度、低反射率到高反射率表面、透明到不透明介質(zhì)。

相關(guān)應(yīng)用：徽流體器件、IC晶圓表面、MEMS器件、徽齒輪/微杺械、激光打孔、磁盤倒邊。

KLA iMicro 納米力學(xué)測試儀

靈活易用的力學(xué)測試可廣泛用于各種材料和應(yīng)用，iMicro 為壓痕、 硬度、 劃痕測試和多元化納米級測試等納米級力學(xué)測試設(shè)計(jì)。 iMicro 具有多量程加載驅(qū)動(dòng)器， 實(shí)現(xiàn)在寬泛的荷載和位移的范圍內(nèi)進(jìn)行測量。

相關(guān)應(yīng)用：硬涂層、陶瓷和玻璃、金屬和合金、復(fù)合材料、涂料和油漆、醫(yī)藥器械、半導(dǎo)體、電池與儲能材料、汽車和航空航天

Profilm3D 白光干涉輪廓儀

Profilm3D 使用垂直干涉掃描 (WLI) 與高精度的相位干涉 (PSI) 技術(shù)。以強(qiáng)大的性價(jià)比實(shí)現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。

相關(guān)應(yīng)用：粗糙度測量;三維形貌表征;臺階高度測量

FS-1 多波長橢偏儀

Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動(dòng)式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)可靠地薄膜測量。

相關(guān)應(yīng)用：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠。高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機(jī)薄 膜（OLED 技術(shù)）等